聚焦离子束-电子束双束显微镜（FIB）

Thermo Scientific Helios 5 UX DualBeam

稿件来源：js65金沙线路总站 编辑：办公室 发布日期：2026-01-13
 
 

 

 

 

 

 

 

 

型         号：Helios 5 UX DualBeam

制   造   商：Thermo Scientific

存 放 地 点：550栋 112

 

主要功能及特色

Helios 5 UX DualBeam是一款集成聚焦离子束（FIB）与扫描电子显微镜（SEM）的双束系统，适用于高精度纳米加工与微观分析。其主要特色包括：

  1. 双束协同工作：支持FIB精确切割、刻蚀与样品制备，同时SEM实时高分辨成像，便于过程监控与结构调整。

  2. 超高分辨与多功能：配备先进电子与离子光学系统，具备亚纳米级分辨率，可进行复杂3D重建以及TEM、APT等样品制备。

  3. 扩展分析能力：可集成能谱仪（EDS）和电子束曝光（EBL）等多种附件，实现成分分析与微纳加工等多功能应用。

 

主要技术指标

  1. 电子束电流范围0.8 pA~100 nA、加速电压范围350~30 kV、着陆能量范围20~30 keV、着陆能量0.6 nm@2 keV、0.7 nm@ 1 keV、1.0 nm@500 eV，最大水平射野宽度4mm WD时2.3 mm；

  2. 配备Phoenix离子镜筒，离子束电流范围1 pA~65 nA、加速电压范围500 V~30 kV、最大水平射野宽度0.7 mm(光速重合处)、离子源寿命>1000 h，配备两级差速抽气飞行时间(TOF)校正15位置光阑条；

  3. 检测器方面，配备Elstar 镜筒内 SE/BSE 检测器（TLD-SE、TLD-BSE）、Elstar 色谱柱内 SE/BSE 检测器 (ICD)、Elstar 色谱柱内 BSE 检测器 (MD)、Everhart-Thornley SE 检测器 (ETD)、用于二级离子 (SI) 和二级电子 (SE) 的高性能腔室内电子和离子检测器 (ICE)、用于样品导航的 Thermo Scientific 腔室内 Nav-Cam 摄像机、集成的等离子束电流测量；

  4. FIB制备工艺最大物料去除65 nA、最佳最终抛光500 V，TEM样品制备最小可控厚度7 nm，配备自动化程序；

  5. 配备高精度五轴电动载物台，配有压电驱动的 XYR 轴，样品处理行程150×150×10 mm，旋转角度360°、倾斜范围-10°至+60°，最大样品高度55 mm，配备手动快速加载器；

 

主要附件及配置

  1. 布鲁克 EDS能谱仪

  2. Raith EBL电子束曝光系统

  3. 标准型超平样品台

  4. 转角型垂直夹持台

 

用户须知

需经过培训获得操作资格后才能使用，或由已培训的人员代为测试。