扫描电子显微镜（SEM）

Scanning Electron Microscope

稿件来源：js65金沙线路总站 编辑：办公室 发布日期：2026-01-13
 
 

 

 

 

 

 

 

 

型          号：Quanta 250 FEG

制   造   商：Thermo Fisher Scientific Inc.

存 放 地 点：550栋 111

 

主要功能及特色

QUANTA 250 FEG环境扫描电子显微镜是一款多模式、大样品室的高性能电子显微成像系统。其主要特色包括：

  1. 多真空模式成像：具备高真空、低真空及ESEM环境模式，可直接观察含水、含油及非导电样品，无需喷镀导电膜。

  2. 广泛的样品适应性：支持对大块样品、磁性材料及生物医学等敏感样品进行无损形貌、成分及晶体结构分析。

  3. 高功能集成配置：配备电子背散射衍射仪，可同时获取样品表面形貌、成分分布及晶体学信息。

 

主要技术指标

  1. 热场发射电子枪(TFE)

  2. 可调节电压：200V~30kV

  3. 五轴移动样品台系统

  4. 可放置的样品最大尺寸：25mm*25mm

  5. 二次电子成像分辨率：高真空模式下30KV时3.0nm; 3KV时10nm。低真空模式下30KV时3.0nm; 3KV时<12nm。环境扫描模式下30KV时3.0nm; 3KV时<12nm

  6. 背散射电子成像分辨率：高真空模式下30KV时4.0 nm

 

主要附件及配置

  1. 电子背散射衍射仪——高真空模式下成像分辨率30KV时4.0 nm

  2. ELPHY Quantum电子束曝光系统——电子束束斑：≤1.6nm；图形发生器频率：6MHz；最小直写线宽：≤8nm；写场面积：100 μm*100μm；写场拼接误差：≤50nm；套刻精度：≤50nm；

 

用户须知

需经过培训获得操作资格后才能使用，或由已培训的人员代为测试。

 

设备预约链接：https://sharing.sysu.edu.cn/home/#/orderDetail?id=2471 

 

设备预约二维码：

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