精密离子减薄仪

Precision Ion Polishing System II

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型          号:Gaten 695.CZP

制   造   商:Gaten, Inc.

存 放 地 点:550栋113

 

主要功能及特色

精密离子减薄仪是用于制备透射电子显微镜表征的超薄样品的高精度设备。其主要特色包括:

  1. 精确可控的减薄过程:通过精确调控离子束能量、角度及样品旋转速度,确保样品减薄均匀并保持结构完整性。

  2. 自动化与程序化操作:支持设定复杂减薄程序,实现全自动控制,有效减少人为误差并提高制备效率与一致性。

  3. 实时监测与质量保障:具备实时厚度监测功能,可在减薄过程中观察样品状态,确保最终样品满足纳米级厚度与实验要求。

 

主要技术指标

  1. 离子源为氩离子源,两只离子枪操作角度为±10°。

  2. 离子束能量最低可达100eV,保护样品。

  3. 工作真空度一般保持在10^-5 Pa至10^-7 Pa,以确保离子束稳定且减少气体分子对减薄过程的干扰。

  4. 离子束的直径一般在几微米到几十微米之间,以便于高精度减薄和局部处理。

  5. 配备外部相机,结合GM软件能够实现原位观测。

 

主要附件及配置

  1. 离子发生器,包括备用离子源,支持不同类型的离子气体(如氩气、氦气等),用于适应不同材料的减薄需求。

  2. 离子束调节器,用于精确控制离子束的能量、角度和直径,确保减薄过程的高质量和一致性。

  3. 可调样品台,支持多种样品形状和尺寸的固定,通常带有精细调节功能以确保样品在离子束照射下的位置准确。

  4. 冷却/加热装置,用于控制样品在减薄过程中的温度,以防止热敏材料受到损伤。

  5. 高性能的真空泵,用于维持工作环境的高真空状态,以确保离子束的稳定性。

  6. 真空度监测仪,用于实时监测系统内的真空度,确保其在设定范围内。

  7. 实时监控摄像头,用于在减薄过程中实时观察样品状态,提供反馈。

  8. 清洁工具,用于定期清洁离子源和样品台,保持设备良好的工作状态。

  9. 备件包,包括一些常用的易损件,以便于快速更换和维护,如密封圈、接头等。

 

用户须知

需经过培训获得操作资格后才能使用,或由已培训的人员代为测试。

设备预约链接:https://sharing.sysu.edu.cn/home/#/orderDetail?id=4054

设备预约二维码:

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