型 号：Raith PIONEER Two
制 造 商：Raith GmbH
存 放 地 点：571栋哲生堂103
主要功能及特色
Raith Poineer Two是一款高精度电子束直写系统，专用于微纳结构与器件的制备和加工。其主要特色包括：
超高加工精度：采用高分辨热场发射电子枪，可实现8 nm的制备精度，以及小于50 nm的套刻与拼接精度。
直写与检测一体化：集成高精度扫描电镜，可在加工过程中同步进行形貌观测与位置校准。
完整的工艺链条：通过电子束曝光、等离子刻蚀及金属蒸镀与剥离等工艺，支持硅基、砷化镓、磷化铟等多种材料的微纳器件制备。
主要技术指标
该设备具有热场电子发射枪，可调节电压的范围为20 eV-30 keV，电子束流范围是5 pA- 20 nA，电子束束斑小于等于1.6 nm。
图形发生器频率为6 MHz。
最小直写线宽小于等于8 nm。
写场面积：100 μm ×100 μm，写场拼接误差小于等于50 nm。
套刻精度小于等于50 nm。
放置样品最大尺寸为25 mm×25 mmV。
主要附件及配置
采用场效应晶体管一体化集成设计；
硅漂移电制冷探测器有效面积30 mm2，直径不大于16 mm；
能量分辨率在100,000CPS条件下Mn Ka保证优于129eV；
轻元素分辨率：C-K/57eV, F-K/67eV；
元素分析范围: Be 4～Cf 98；
探测器处理单元与计算机采用分立式设计，单探测器输出最大计数率优于600,000CPS，可处理最大计数率优于1,500,000CPS
可将电镜图像传输到能谱仪的显示器上：
戴尔（DELL）Vostro成就3710：i7-12700 16G内存1T固态硬盘 24寸高清显示器，windows 11系统；
分析工作站：CPU， Intel Core i7 ；内存，16GB；硬盘，1TB；显示器，24"LCD；系统，windows 10。
用户须知
需经过培训获得操作资格后才能使用，或由已培训的人员代为测试。
设备预约链接：https://sharing.sysu.edu.cn/home/#/orderDetail?id=2436
设备预约二维码：
注意：点击以上链接，如果出现“系统提示”弹窗（如图绿色方框1），请点击弹窗右上角的“X”（如图红色圆框2），直接关闭弹窗，即可浏览设备详情和收费情况；如需预约，请点击“仪器预约”按钮（如图蓝色方框3），并根据系统提示进行操作。
